日本SMC不锈钢真空直通阀，SMC高真空L型阀展示

系列/CAD
(L型/直通型)    动作方式    轴密封方式    阀形式    材质    法兰尺寸
XMA/XYA     气控    波纹管密封    单作用
(N.C.)    阀体：
SCS13
(相当SUS304) 
波纹管：
SUS316L    16～80注）
XMC/XYC     双作用
XMD/XYD     波纹管
O型圈密封    单作用
(N.C.)    阀体：
SCS13
(相当SUS304)
波纹管：
SUS316L    25～80
XMH/XYH     手动    波纹管密封    手动    阀体：
SCS13
(相当SUS304)
波纹管：
SUS316L    16～50注）

日本SMC不锈钢真空直通阀，SMC高真空L型阀展示
特长    
采用精密铸造体化结构，无气体滞留。
与铝制高真空L型阀XL系列的安装有互换性 (XM系列)
关于SMC真空电磁阀的选用
使用真空发生器的回路中的换向阀，有供给阀和真空破坏阀。使用真空泵回路中的换向阀，有真空切换阀和真空选择阀。
供给阀是供给真空发生器压缩空气的阀。
真空破坏阀是破坏吸盘内的真空状态，将真空变成大气压或正压力，使工件脱离吸盘的阀。真空切换阀就是接通或断开真空压力源的阀。真空选择阀可控制吸盘对工件的吸着或脱离，个阀两个功能，可以简化回路设计。
供给阀印设置于正压管路中，可选用般换向阀。真空破坏阀，真空切换阀和真空选择阀设置于真空回路或存在有真空状态的回路中，故必须选用能在真空压力条件下工作的换向阀。真空换向阀要求不泄露，且不用油雾润滑。故使用座阀式和膜片式阀芯结构比较。通径大时可使用外部导式电磁阀。不给油润滑的软质密封滑阀，由于其通用性强，也常作为真空用换向阀使用。
要订购“Nil”以外的内容（默认），请列出符号
用“X”表示，然后是“身体表面处理”，“
“密封材料”，然后“改变部分”。
示例）XLA-16-M9NA-XAN1A
注2）
注1）常温下的值，不包括气体渗透。
注2）有关更换部件，请参见14页“构造”部件号。
数字表示“建设”的部件号